百級無塵室

日期：2021-12-06 07:11

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摘要： 世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室*大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺) <img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105120715_4980.jpg" alt="" /> 風系統流程圖 系統采用的是全新風空調箱+FFU系統. <1>全新風空調箱結構 <2>FFU:(FAN FILTER UNIT) 即風機和過濾器 千級區過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995% 水系統水系統流程圖(現場畫) 冰水系統分為一次側和二次側. 一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給干盤管系統. 一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接. 板式換熱器原理(現場畫圖). 干盤管:不結露的盤管,因無塵室溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入無塵室,所以進干盤管的冰水溫度在12-14度. 控制系統(DDC) 溫度:干盤管系統控制 濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量 正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量. <img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113128_3555.jpg" alt="" /> 1.亂流式 空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。 優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。 缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制 程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。 2.層流式 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種： ⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。 優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。 ⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。 優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。 缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。 3.復合式 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。百級無塵車間， ⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。 此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。 潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。 ⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。 ⑶并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。 <img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113231_1976.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113243_0185.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113257_7642.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113320_0359.jpg" alt="" />         歡迎新老顧客來我司參觀洽談.....

世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室*大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)

風系統流程圖

系統采用的是全新風空調箱+FFU系統.

<1>全新風空調箱結構

<2>FFU:(FAN FILTER UNIT) 即風機和過濾器

千級區過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%

水系統水系統流程圖(現場畫)

冰水系統分為一次側和二次側.

一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給干盤管系統.

一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理(現場畫圖).

干盤管:不結露的盤管,因無塵室溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入無塵室,所以進干盤管的冰水溫度在12-14度.

控制系統(DDC)

溫度:干盤管系統控制

濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量

正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量.

1.亂流式

空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制

程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

2.層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。

⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3.復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。百級無塵車間，